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发明名称 DEVICE FOR THE PLASMA-MEDIATED WORKING OF SURFACES ON PLANAR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1352417(B1) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 EP20020708154 申请日期 2002.01.16
申请人 FORSCHUNGS- UND APPLIKATIONSLABOR PLASMATECHNIK GMBH DRESDEN 发明人 KUSKE, JUERGEN;STEPHAN, ULF;KOTTWITZ, ALFRED;SCHADE, KLAUS
分类号 H01L21/00;H05H1/46;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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