| 发明名称 |
Diaphragm valve for atomic layer deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2426808(B) |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
| 申请号 |
GB20060012855 |
申请日期 |
2004.06.28 |
| 申请人 |
PLANAR SYSTEMS INC |
发明人 |
JARMO ILMARI MAULA;HANNU LESKINEN;TEEMU LANG;PEKKA KUOSMANEN;KARI HAERKOENEN;BRADLEY J AITCHISON |
| 分类号 |
F16K49/00;F16K7/14;F16K31/06 |
主分类号 |
F16K49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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