电子发射装置及其制造方法、和利用电子发射装置的摄像装置或显示装置

摘要

本发明涉及电子发射装置及其制造方法、和利用电子发射装置的摄像装置或显示装置。该电子发射装置具有下部电极(11)和上部电极(15)，且由从上部电极侧发射电子的多个电子发射元件构成，其中，电子发射元件之间形成有空间，上部电极以在桥部(15a)横跨上述空间的方式延伸，在该制造方法中，当制造上述电子发射装置时，在桥部设置通孔或缺口部(15a)，通过把桥部作为掩模，来蚀刻上部电极下方的层叠体，从而形成上述空间。根据上述电子发射元件，通过桥部能够对相邻的电子发射元件的上部电极之间进行电连接，而不会使上部电极与电子发射元件侧面及基板接触，因此能够缩短电流路径，并且能够减小断线的可能性。

主权项

1.一种电子发射装置，该电子发射装置由多个电子发射元件构成，该多个电子发射元件分别具有靠近基板侧的下部电极和远离上述基板侧的上部电极，并且从上述上部电极侧发射电子，其特征在于，在上述电子发射元件之间形成有空间，上述上部电极以通过其桥部横跨上述多个电子发射元件和上述空间的方式延伸。