探针设备，配备有该探针设备的晶片检测设备，以及晶片检测方法

摘要

提供了晶片检测设备、晶片检测方法以及探针设备，通过它们，可以对待检测的许多电极共同地执行电检测，在小负载下，对待检测的所有电极，可以肯定地实现良好的电连接状态。本发明的探针设备包括具有许多检测电极的用于检测电路板，具有用于连接的电路板(具有许多端电极和接触构件)的探针卡，位于用于检测的电路板和用于连接的电路板之间的并使得相应的检测电极与相应的端电极电连接的各向异性导电连接器，以及用于调节用于检测的电路板与用于连接晶片的电路板的平行性的平行性调节机构。平行性调节机构配备有位置改变机构，该机构在各向异性导电连接器的厚度方向相对地位移用于检测的电路板或用于连接的电路板。晶片检测设备配备有探针设备。

主权项

1.一种适用于对晶片上形成的许多集成电路进行电检测的探针设备，包括：在其正面具有许多检测电极的用于检测的电路板；探针卡，其具有用于连接的电路板，在用于连接的电路板的背面，根据对应于用于检测的电路板的检测电极的图案的图案形成多个端电极，以及具有在用于连接的电路板的正面上设置的接触构件，在接触构件上布置了与作为检测对象的晶片上的集成电路的待检测的相应电极进行接触的许多触点，其中布置用于连接的电路板的相应的端电极，以便与用于检测的电路板的检测电极相对；布置在探针卡中的用于检测的电路板和用于连接的电路板之间的各向异性导电连接器，该连接器通过被用于检测的电路板和用于连接的电路板捏住而使得相应的检测电极与相应的端电极电连接；以及用于调节用于检测的电路板与晶片的平行性以及用于连接的电路板与晶片的平行性的平行性调节机构，其中，平行性调节机构配备有位置改变机构，该机构在各向异性导电连接器的厚度方向上相对地位移用于检测的电路板或用于连接的电路板。