发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERVORRICHTUNGEN MIT MESASTRUKTUREN UND VIELFACHEN PASSIVIERUNGSSCHICHTEN UND VERWANDTE VORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE60311678(D1) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 DE20036011678 申请日期 2003.12.18
申请人 CREE INC. 发明人 HABERERN, W.;ROSADO, RAYMOND;BERGMANN, J.;EMERSON, T.
分类号 H01S5/028;C30B1/00;H01L21/00;H01L33/14;H01S5/042;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/323 主分类号 H01S5/028
代理机构 代理人
主权项
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