定位器装置

摘要

描述了一种定位器(2)，用于将样品平台(6)相对于底座(4)移动。定位器由布置成沿驱动轴线膨胀和收缩的压电元件驱动，压电元件具有与底座相连的输入端和与第一输出杠杆(14)和第二输出杠杆(16)相连的输出端，该第一输出杠杆(14)和第二输出杠杆(16)从压电元件的驱动轴线沿相反的方向延伸；每个输出杠杆具有内臂和外臂，内臂布置成当压电元件膨胀时受到压电元件作用，样品平台通过样品平台支撑件(26，28)安装在外臂上；输出杠杆如此安装，即，压电元件作用在输出杠杆的内臂上，以使外臂在包含样品平台的平面内移动。输出杠杆的这种运动通过平台支撑件与样品平台相通，从而使样品平台沿着平行于驱动轴线的方向相对于底座移动。

主权项

1.一种定位器，包括：底座和可相对于所述底座移动的样品平台；驱动机构，其被布置成在所述底座和所述样品平台之间动作；以及多个彼此远离地延伸的杠杆，所述杠杆支撑所述样品平台并与所述驱动机构相连，使得所述驱动机构的致动在所述杠杆的力学效益下传递，以定位所述样品平台。