| 摘要 |
膜厚不均检查装置(1)具备有：用以保持基板(9)的载物台(2)；朝向基板(9)中形成有膜(92)之上面(91)射出线状光的光射出部(3)；接受来自基板(9)之反射光的受光部(4)；配置在基板(9)和受光部(4)之间，用以切换光之波长带的波长带切换机构(5)；使载物台(2)移动的移动机构(21)；以及，根据所接受之光的强度分布检查膜厚不均的检查部(7)。膜厚不均检查装置(1)中，在波长带切换机构(5)变更所选择之滤光器(51a)时，对于各滤光器(51)之光学特性造成的影响，或伴随选择波长带变更而造成线性感测器(41)之CCD感光度变异之影响，根据预先记忆在补正资讯记忆部(76)的对应于选择波长带(被选择的光学条件)之补正资讯补正之后，检查膜厚不均。结果是，能以更良好之精度检测膜厚不均。 |
