发明名称 SILICON DOT FORMING METHOD AND SILICON DOT FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070030685(A) 申请公布日期 2007.03.16
申请号 KR20060088111 申请日期 2006.09.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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