发明名称 |
光栅平动式光调制器及阵列 |
摘要 |
本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列,光调制器包括:一有绝缘层和负电极硅基底,一镀于负电极之上的底层反射面,一位于底层反射面之上,四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面,该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽,形成光栅,一将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置。该器件是利用深度可变的矩形槽光栅对入射光的相位进行调制,具有出光效率高、调制速度快、对比度高、亮度高、均匀性好等优点,同时制造工艺简单,良品率高,有效利用面积大。 |
申请公布号 |
CN1304874C |
申请公布日期 |
2007.03.14 |
申请号 |
CN200510020186.8 |
申请日期 |
2005.01.13 |
申请人 |
重庆大学 |
发明人 |
黄尚廉;张智海;闫许;付红桥;张洁;伍艺 |
分类号 |
G02B26/08(2006.01);G02F1/01(2006.01) |
主分类号 |
G02B26/08(2006.01) |
代理机构 |
重庆华科专利事务所 |
代理人 |
康海燕 |
主权项 |
1.一种光栅平动式光调制器,其特征在于它包括:a.一硅基底,其上淀积刻蚀有绝缘层和负电极;b.一镀于负电极之上的底层反射面;c.一位于底层反射面之上,四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面,顶层反射面是在弹性基底上镀上金属反射物形成的,该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽,形成光栅,两反射面之间留有合适的间距,顶层反射面为正电极;d.使顶层反射面悬浮于底层反射面上方的悬臂梁,该悬臂梁下部支撑在硅基底上,位于在顶层反射面的四边外侧,以四角旋转对称支撑的形式与顶层反射面四边相连接,将顶层反射面支撑在底层反射面之上;e.将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置,可产生不同电平、不同频率的驱动电压。 |
地址 |
400044重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院 |