| 发明名称 | 溅射装置及其电极和该电极的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种溅射装置及其电极和该电极的制造方法。该电极为旋转式磁控管套磁控管型(RMIM)电极。RMIM电极包括：磁体单元，包括位于的柱形磁体和多个围绕柱形磁体的环形磁体；以及驱动单元，支承和离轴旋转磁体单元。在磁体单元中，相邻磁体有相反的磁化方向，具有小直径的环形磁体位于具有大直径的环形磁体内侧。 | ||
| 申请公布号 | CN1303245C | 申请公布日期 | 2007.03.07 |
| 申请号 | CN03128660.7 | 申请日期 | 2003.03.14 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 申在光;金圣九;朴荣奎;严显镒 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01);H01J37/34(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种旋转式磁控管套磁控管型电极，包括：磁体单元，其包括位于中央的柱形磁体和多个围绕柱形磁体的环形磁体；以及驱动单元，其支承和离轴旋转磁体单元，其中，在磁体单元中，相邻磁体有相反的磁化方向，且具有小直径的环形磁体位于具有大直径的环形磁体内。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||