发明名称 双台定位交换系统
摘要 本发明公开了一种双台定位交换系统,至少包括基台、设置在基台上并运行于第一工位的承物台定位单元、运行于第二工位的承物台定位单元,每个承物台定位单元至少包括承载装置、X向导轨、Y向导轨、运动定位检测装置、线性光栅,其中,承载装置包括承物台和承物台连接装置,两者可相对移动,承物台定位单元还包括驱动装置,可连接承物台连接装置,并在X向导轨上运动,X向导轨位于Y向导轨上方,可沿Y向导轨运动,系统还包括一用于过渡性缓冲的承物台连接装置,位于基台前侧的Y向导轨的中心位置。该系统不需要设计跟随双台运动的线缆台,从而使电缆线的处理简单化。
申请公布号 CN1924712A 申请公布日期 2007.03.07
申请号 CN200610116453.6 申请日期 2006.09.22
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 李小平;李映笙
分类号 G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F9/00(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
主权项 1.一种双台定位交换系统,至少包括基台、设置在基台上并运行于第一工位的承物台定位单元、运行于第二工位的承物台定位单元,每个承物台定位单元至少包括承载装置、X向导轨、Y向导轨、运动定位检测装置,其特征在于:所述承载装置包括承物台和承物台连接装置,两者可相对移动,所述承物台定位单元还包括驱动装置,所述驱动装置连接所述的承物台连接装置,可在所述X向导轨上运动,X向导轨位于Y向导轨上方,可沿Y向导轨运动,所述系统还包括一用于过渡性缓冲的承物台连接装置,位于基台前侧的Y向导轨的中心位置。
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