| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTION OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND MASKS USING A LOW ENERGY ELECTRON MICROSCOPE WITH TWO ILLUMINATING BEAMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1290430(A4) |
申请公布日期 |
2007.03.07 |
| 申请号 |
EP20010939046 |
申请日期 |
2001.05.14 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
VENEKLASEN, LEE;ADLER, DAVID, L.;MARCUS, MATTHEW |
| 分类号 |
G01N23/20;H01J37/26;G01N23/225;G01Q30/00;G03F1/08;G21K7/00;H01J37/05;H01J37/06;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/29;H01L21/027;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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