| 发明名称 | 具有装在一条公共旋转轴线上的多臂的基片传送装置 | ||
| 摘要 | 一种基片传送装置B具有：一个驱动部(24)、两个连接到驱动部的公共旋转轴线D上的、可单独活动的臂组合件(66、68)、和连接到臂组合件上的基片夹持器(38、39)。驱动部包括三个同心的驱动轴(50a、50b、50c)和一个连接到其中一个轴上的带轮。两个臂组合件被连接到另外两个轴上。 | ||
| 申请公布号 | CN1301832C | 申请公布日期 | 2007.02.28 |
| 申请号 | CN99815293.5 | 申请日期 | 1999.11.23 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | C·A·霍夫梅斯特 |
| 分类号 | B25J18/00(2006.01);B25J18/02(2006.01);B25J9/06(2006.01) | 主分类号 | B25J18/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 周备麟;章社杲 |
| 主权项 | 1.一种基片传送装置具有：一个驱动部；两个连接到在该驱动部的臂组合件；及连接到该些臂组合件上的一些基片夹持器，其特征为，两个臂组合件均为可单独活动，从而使基片夹持器彼此单独活动，该两个臂组合件在一个共同的旋转轴上固定到驱动部。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||