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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR HIGH FLOW DELIVERY OF NH3 FOR FLAT DISPLAY PANEL MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1756468(A1) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20040735932 申请日期 2004.06.03
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 UDISCHAS, RICHARD, J.;PAGANESSI, JOSEPH, E.;RAMEAU, GUILLAUME;DULPHY, HERVE
分类号 F17C7/04;F17C9/02;F17C13/02 主分类号 F17C7/04
代理机构 代理人
主权项
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