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发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN IN ZUSAMMENHANG MIT DER HERSTELLUNG VON STRUKTUREN
摘要
申请公布号
DE60029827(T2)
申请公布日期
2007.02.22
申请号
DE20006029827T
申请日期
2000.12.04
申请人
OBDUCAT AB
发明人
HEIDARI, BABAK
分类号
G03F7/00;G03F7/20;B41M1/06;B81C99/00;B82B1/00;B82B3/00;H01L21/027
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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