| 主权项 |
1.一种机台控制系统,包括: 一工具控制系统,用以与耦接至该机台控制系统之 一制造执行系统通讯,以接收制造执行系统之一指 令,并提供机台控制系统之状态; 一读取模组,用以与该工具控制系统以及至少一制 造装置通讯,其中读取模组包括一解译器,用以对 一TAP模组之原始程式码进行解译,且该TAP模组之该 原始程式码系适于控制该制造装置; 一转换模组,系与该读取模组通讯,其中当该TAP模 组之原始程式码指定一函式输出至该读取模组时, 该转换模组系与该读取模组连结,且该转换模组更 设定为对应于该指令所选定之程序路由的路由选 择函式;以及 一COM+模组,系与该转换模组通讯,其中该COM+模组适 于处理COM+格式之原始程式码。 2.如申请专利范围第1项所述之机台控制系统,其中 该制造装置包括半导体制造装置。 3.如申请专利范围第1项所述之机台控制系统,其中 该转换模组包括: 一前转换模组,用以决定是否计算出一函式,或将 该指令传送至该COM+模组;以及 一路由模组,用以控制该读取模组与该COM+模组间 之资讯的通路。 4.如申请专利范围第3项所述之机台控制系统,其中 该读取模组、该前转换模组以及该路由模组包括 DLL档案,而COM+模组包括COM+格式之档案。 5.如申请专利范围第1项所述之机台控制系统,其中 该TAP模组之原始程式码包括可由该读取模组解译 与执行之指令,并包括呼叫该读取模组之外部函式 的指令。 6.如申请专利范围第1项所述之机台控制系统,其中 该转换模组系至少与选自TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP以 及COMTAPCOM四个程序路由的至少其中之一相呼应( Responsive),该TAPCOM程序路由系对应于由该TAP模组至 该COM+模组之走向的资料流,而该COMTAP程序路由系 对应于由该COM+模组至该TAP模组之走向的资料流, 该TAPCOMTAP程序路由系对应于由该TAP模组至该COM+模 组,并且再回到该TAP模组之走向的资料流,而该 COMTAPCOM程序路由系对应于由该COM+模组至该TAP模组 ,并且再回到该COM+模组之走向的资料流。 7.如申请专利范围第6项所述之机台控制系统,其中 该转换模组更用以等待该TAPCOMTAP程序路由处理一 指令,当提供该COM+模组资讯时,便开始等待的动作, 而在COM+模组准备好提供资料之后,便结束等待的 动作。 8.如申请专利范围第6项所述之机台控制系统,其中 该转换模组更用以等待该COMTAPCOM程序路由处理一 指令,当提供该TAP模组资讯时,便开始等待的动作, 而在TAP模组准备好提供要求的资料之后,便结束等 待的动作。 9.一种控制制造装置的方法,包括: 与一制造执行系统通讯,而决定是否使用新设定; 自该制造执行系统接收关于新设定之一第一组参 数; 依据一第一组指令,而控制一制造装置; 在该第一组指令内撷取关于新设定之一指令; 连结至一COM+模组,以转换该第一组参数至该COM+模 组;以及 等待直到该COM+模组完成对一第二组参数之运算, 其中该第二组参数系由该第一组参数计算而得,并 可直接为该制造装置所用。 10.如申请专利范围第9项所述之方法,其中该制造 装置包括半导体制造装置。 11.如申请专利范围第9项所述之方法,更包括执行 该COM+模组内的程式码,其系以COM+格式所写成。 12.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该制造 装置系由一第一操作系统控制,而于该COM+模组内 执行之程式码系由不同于该第一操作系统之一第 二操作系统所产生。 13.如申请专利范围第12项所述之方法,其中该第一 操作系统系IBM OS/2,而该第二操作系统系 Microsoft Windows。 14.如申请专利范围第13项所述之方法,更包括使用 Visual Basic、Java以及C++至少其中之一所产生之可 执行的程式码,以作为该第二操作系统之该COM+模 组所执行的程式码。 15.如申请专利范围第9项所述之方法,其中控制该 制造装置系指对原始程式码进行解译。 16.一种控制一主机指令之程序路径的方法,包括: 接收来自一TAP模组之一指令,其系指定一读取模组 远端之一函式的执行,其中该TAP模组系于该读取模 组内执行,且该TAP模组系控制一制造装置之程序; 检阅该指令,以找出一对应参数,其系指定该远端 所执行之一程序路径; 连结至具有该函式之执行程式码的该COM+模组,且 当该参数指定由该TAP模组至该COM+模组之一程序路 径时,提供该COM+模组所对应之资讯;以及 连结至具有该函式之执行程式码的该COM+模组,提 供该COM+模组所对应之资讯,等待该COM+模组完成该 函式的计算,当该COM+模组准备好提供资料时,连结 至用以执行来自该TAP模组之程式码的该读取模组, 当该参数指定由该TAP模组流出之一程序路径时,提 供运算的结果,继续进行至该COM+模组,并回到该TAP 模组。 17.如申请专利范围第16项所述之方法,其中该COM+模 组所对应之资讯包括资料与指令。 18.如申请专利范围第16项所述之方法,更包括: 自该COM+模组接收一指令,以作为将于该TAP模组内 执行之一函式所用;以及 连结至该读取模组,并提供该读取模组对应之资讯 ,以在该参数指定由该COM+模组至该TAP模组之一程 序参数时,可为TAP模组所用。 19.如申请专利范围第16项所述之方法,更包括: 自该COM+模组接收一指令,以作为将于该TAP模组内 执行之一函式所用,其中该指令更指定该TAP模组回 送一第二资讯;以及 连结至该读取模组,并提供该读取模组一第一资讯 ,以使该TAP模组可使用该第一资讯,等待该TAP模组 准备好提供该第二资讯,自该读取模组接收该第二 资讯,当该参数指定自该COM+模组流至该TAP模组,再 回到该COM+模组之一程序路径时,提供该第二资讯 至该COM+模组。 20.如申请专利范围第16项所述之方法,其中该TAP模 组系对应至原始程式码,且该读取模组藉由对该TAP 模组之原始程式码进行解译,以执行该原始程式码 。 21.如申请专利范围第16项所述之方法,其中该制造 装置包括半导体制造装置。 22.一种具有主机-可执行指令之主机-可读式媒体( Medium),用以执行一方法,包括: 接收来自一TAP模组之一指令,其系指定一读取模组 远端之一函式的执行,其中该TAP模组系于该读取模 组内执行,且该TAP模组系控制一制造装置之程序; 检阅该指令,以找出一对应参数,其系指定该远端 所执行之一程序路径; 连结至具有该函式之执行程式码的该COM+模组,且 当该参数指定由该TAP模组至该COM+模组之一程序路 径时,提供该COM+模组所对应之资讯;以及 连结至具有该函式之执行程式码之该COM+模组,提 供该COM+模组所对应之资讯,等待该COM+模组完成该 函式的计算,当COM+模组准备好提供资料时,连结至 用以执行来自该TAP模组之程式码的该读取模组,当 该参数指定由TAP模组流出之一程序路径时,提供运 算的结果,继续进行至COM+模组,并回到TAP模组。 23.如申请专利范围第22项所述之该主机-可读式媒 体,更包括主机-可执行指令,以执行一方法,包括: 自该COM+模组接收一指令,以作为将于该TAP模组内 执行之一函式所用;以及 连结至该读取模组,并提供该读取模组对应之资讯 ,以在该参数指定由该COM+模组至该TAP模组之一程 序参数时,可为TAP模组所用。 24.如申请专利范围第22项所述之该主机-可读式媒 体,更包括主机-可执行指令,以执行一方法,包括: 自该COM+模组接收一指令,以作为将于该TAP模组内 执行之一函式所用,其中该指令更指定该TAP模组回 送一第二资讯;以及 连结至该读取模组,并提供该读取模组一第一资讯 ,以使该TAP模组可使用该第一资讯,等待该TAP模组 准备好提供该第二资讯,自该读取模组接收该第二 资讯,当该参数指定自该COM+模组流至该TAP模组,再 回到该COM+模组之一程序路径时,提供该第二资讯 至该COM+模组。 图式简单说明: 图1绘示为应用于制造环境之一主机系统的例子。 图2绘示为本发明之较佳实施例的一种机台控制系 统。 图3绘示为本文之读取模组应用于步进机一例之程 序的流程图。 图4A绘示为选择一TAPCOM程序路由之路由模组所进 行之程序的流程图。 图4B绘示为选择一COMTAP程序路由之路由模组所进 行之程序的流程图。 图4C绘示为选择一TAPCOMTAP程序路由之路由模组所 进行之程序的流程图。 图4D绘示为选择一COMTAPCOM程序路由之路由模组所 进行之程序的流程图。 图5A绘示为选择一TAPCOM程序路由或TAPCOMTAP程序路 由之COM+模组所进行之取样操作的流程图。 图5B绘示为选择一COMTAP程序路由或COMTAPCOM程序路 由之COM+模组所进行之取样操作的流程图。 |
