| 发明名称 | 有机金属化合物供给容器 | ||
| 摘要 | 一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物是在相对于有机金属化合物惰性的载体上被覆常温下固体的有机金属化合物而构成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载体气体导入管的前端部相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°而配设。由此提供能够获得具有一定的重复性的有机金属化合物的蒸发量，增加载气流量并增加有机金属化合物的气化量时，能够减少填充的有机金属化合物的使用率的降低的有机金属化合物供给容器。 | ||
| 申请公布号 | CN1916233A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
| 申请号 | CN200610110848.5 | 申请日期 | 2006.08.15 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 高元保;门田阳一;赞良宪一 |
| 分类号 | C23C16/18(2006.01);C23C16/44(2006.01) | 主分类号 | C23C16/18(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种有机金属化合物供给容器，在容器上部配设载气导入管的前端部，底部配设载气导出管的前端部，且在该容器内填充载体担载有机金属化合物而构成，该载体担载有机金属化合物在相对有机金属化合物具有惰性的载体上被覆常温下为固体的有机金属化合物而成，该有机金属化合物供给容器的特征在于，载体气体导入管的前端部被配设成，相对于水平方向向斜下方倾斜20～50°。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||