发明名称 METHOD FOR ELECTROPLATING BATH CHEMISTRY CONTROL
摘要
申请公布号 EP1753897(A1) 申请公布日期 2007.02.21
申请号 EP20050747468 申请日期 2005.05.06
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ROSENFELD, ARON;HAFEZI, HOOMAN;SUN, ZHI-WEN;YANG, MICHAEL;BEHNKE, JOSEPH F.
分类号 C25D21/12;A23D7/00;A23D7/005;A23D7/01;A23J7/00;C07F9/10;C25D7/12;C25D21/18;H01L21/288 主分类号 C25D21/12
代理机构 代理人
主权项
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