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经营范围
发明名称
METHOD FOR ELECTROPLATING BATH CHEMISTRY CONTROL
摘要
申请公布号
EP1753897(A1)
申请公布日期
2007.02.21
申请号
EP20050747468
申请日期
2005.05.06
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
ROSENFELD, ARON;HAFEZI, HOOMAN;SUN, ZHI-WEN;YANG, MICHAEL;BEHNKE, JOSEPH F.
分类号
C25D21/12;A23D7/00;A23D7/005;A23D7/01;A23J7/00;C07F9/10;C25D7/12;C25D21/18;H01L21/288
主分类号
C25D21/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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