溅射源及溅射装置

摘要

本发明之课题为，在不会对有机薄膜表面造成破坏的情况下在其表面形成溅射膜。本发明之解决手段为，在配置有标靶113a之筒状侧壁103的开口配置粒子通路130a，且在其两侧配置第一、第二陷阱磁铁121a、122a，而在粒子通路130形成磁力线。欲通过粒子通路130a的溅射粒子中，只有中性粒子可直接前进，因此，在成膜对象物的有机薄膜表面可形成溅射膜。带电粒子或电子因磁力线而导致飞行方向转弯，而无法到达有机薄膜表面，所以对有机薄膜的破坏较小。