| 摘要 |
本发明系提供一种光阻组成物，其特征系包含：(A)含有羧基或羟基之聚合物、(B)通式(I)所表示之多官能链烯醚、[式中，R1，及R2系相同或不同，且表示为取代或是非取代的烷基、取代或是非取代的芳基或取代或是非取代的芳烷基，R1及R2系与邻接之碳原子一起形成取代或是非取代的脂环族烃环，X系表示取代或是非取代之n个氢原子被除去之链烷(该链烷系包含经1~2个芳基所取代者，该链烷碳原子的一部份亦可以氧原子或SO2来取代)、取代或是非取代之n个氢原子被除去之芳香族环(该芳香族环系包含以烷基取者)、n-2个氢原子被除去之-{(CH2-CH2-O)m-CH2-CH2}-(式中，m系表示1以上的整数)所表示之基，n系表示2以上的整数]、及(C)光酸发生剂。 |
