| 发明名称 |
Alkoxidverbindung, Material für die Bildung eines dünnen Films und Verfahren für die Bildung eines dünnen Films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112005000134(T5) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE200511000134 |
申请日期 |
2005.02.14 |
| 申请人 |
ADEKA CORP. |
发明人 |
SATO, HIROKI;SAKURAI, ATSUSHI |
| 分类号 |
C07C215/08;C07F7/00;C07F7/04;C23C16/40;H01L21/316 |
主分类号 |
C07C215/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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