| 发明名称 | 基板检测装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。 | ||
| 申请公布号 | CN1912640A | 申请公布日期 | 2007.02.14 |
| 申请号 | CN200610007917.X | 申请日期 | 2006.02.21 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 李秀浩;申定根;申永植;朴宜美;郑和俊 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R31/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩明星;李云霞 |
| 主权项 | 1、一种用于检测基板的基板检测装置，其特征在于包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||