发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON POLYMERSCHICHTEN, UND ANWENDUNG DER VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60029445(T2) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 DE20006029445T 申请日期 2000.05.12
申请人 THIN FILM ELECTRONICS ASA 发明人 INGANAES, OLLE;NYBERG, TOBIAS;GRANLUND, TOMAS
分类号 C08J7/04;G03F7/00;B41C1/06;B41M1/06;B81C1/00;C08G65/22;C08J7/00;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40 主分类号 C08J7/04
代理机构 代理人
主权项
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