发明名称 METAL CMP SLURRY COMPOSITION THAT FAVOR MECHANICAL REMOVAL OF METAL OXIDES WITH REDUCED SUSCEPTIBILITY TO MICRO-SCRATCHING
摘要
申请公布号 KR100680509(B1) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 KR20050020060 申请日期 2005.03.10
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;C09G1/02;C11D3/14;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;H01L21/302;H01L21/321;H01L21/461 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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