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发明名称
METAL CMP SLURRY COMPOSITION THAT FAVOR MECHANICAL REMOVAL OF METAL OXIDES WITH REDUCED SUSCEPTIBILITY TO MICRO-SCRATCHING
摘要
申请公布号
KR100680509(B1)
申请公布日期
2007.02.08
申请号
KR20050020060
申请日期
2005.03.10
申请人
发明人
分类号
C09K3/14;C09G1/02;C11D3/14;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;H01L21/302;H01L21/321;H01L21/461
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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