发明名称 膜图案之形成方法、主动矩阵基板、光电装置及电子机器
摘要 本发明提供膜图案之形成方法、主动矩阵基板、光电装置及电子机器,其在已分割之图案形成区域形成具覆盖层之膜图案时,藉由将其形成步骤简化,提升膜图案的生产性。在基板P上系形成用以划分图案形成区域之岸堤51,该图案形成区域系具备第一图案形成区域52、53;及由交叉部56所分割之第二图案形成区域55。接着,在第一图案形成区域52、53形成第一膜图案,在第二图案形成区域形成第二膜图案后,对基板全面施以拨液处理。之后,选择性保持第二膜图案各特定位置的拨液性,使基板上的拨液性低下。在第一膜图案、及第二膜图案上积层覆盖层,并去除第二膜图案各特定位置的拨液性,以利用导电膜连接各特定位置间。
申请公布号 TW200705645 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW095117765 申请日期 2006.05.19
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 守屋克之;平井利充
分类号 H01L27/01(2006.01) 主分类号 H01L27/01(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本