发明名称 轨迹测定探针
摘要 【课题】提供轨迹测定装置的探针,其可减轻接触荷重。【解决手段】探针1以角形状构成,其先端的端面10以长方形般构成,其一边作为直线状接触边11,且在其两端形成R。该直线状接触边11以与轨迹方向大致正交般,与测定对象物接触,以扩大接触面积,且减轻接触荷重。同时避免增大轨迹方向的接触面积,不使测定间距增大,且不使摩耗增大。
申请公布号 TWI272391 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW091133594 申请日期 2002.11.18
申请人 亚多特克工程股份有限公司 发明人 古见忠
分类号 G01R1/067(2006.01) 主分类号 G01R1/067(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种轨迹测定探针,与测定对象物接触,且相对于 测定对象物相对的移动,在测定对象物上滑动接触 以进行测定, 上述探针系在和测定对象物的轨迹方向的大致正 交的方向上线接触。 2.如申请专利范围第1项所述的轨迹测定探针,其中 上述线接触系为直线状的线接触。 3.如申请专利范围第1项所述的轨迹测定探针,其中 上述线接触系为曲线状的线接触。 4.如申请专利范围第1或2项所述的轨迹测定探针, 其中上述探针的剖面为方形状,在该方形的一边, 与对象物线接触。 5.如申请专利范围第1或3项所述的轨迹测定探针, 其中上述探针的剖面形状具有圆弧的边,在该圆弧 的边,与对象物线接触。 图式简单说明: 第1图是显示本发明的一实施例的概略图; 第2图是显示本发明的另一实施例的概略图; 第3图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第4图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第5图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第6图系为习知的一例子的说明图;以及 第7图系显示本发明的测定装置的探针支持机构的 一例子的侧面图。
地址 日本