主权项 |
1.一种轨迹测定探针,与测定对象物接触,且相对于 测定对象物相对的移动,在测定对象物上滑动接触 以进行测定, 上述探针系在和测定对象物的轨迹方向的大致正 交的方向上线接触。 2.如申请专利范围第1项所述的轨迹测定探针,其中 上述线接触系为直线状的线接触。 3.如申请专利范围第1项所述的轨迹测定探针,其中 上述线接触系为曲线状的线接触。 4.如申请专利范围第1或2项所述的轨迹测定探针, 其中上述探针的剖面为方形状,在该方形的一边, 与对象物线接触。 5.如申请专利范围第1或3项所述的轨迹测定探针, 其中上述探针的剖面形状具有圆弧的边,在该圆弧 的边,与对象物线接触。 图式简单说明: 第1图是显示本发明的一实施例的概略图; 第2图是显示本发明的另一实施例的概略图; 第3图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第4图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第5图是显示本发明的一实施例的动作的说明图; 第6图系为习知的一例子的说明图;以及 第7图系显示本发明的测定装置的探针支持机构的 一例子的侧面图。 |