METHOD FOR PRODUCING A MONOLITHIC PIEZO ACTUATOR WITH STACK ELEMENTS, MONILITHIC PIEZO ACTUATOR WITH STACK ELEMENTS, AND USE OF THE PIEZO ACTUATOR

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors in monolithischer Vielschichtbauweise, aufweisend einen Teilstapel und mindestens einen weiteren Teilstapel, wobei jeder der Teilstapel übereinander angeordnete Piezokeramikschichten und zwischen den Piezokeramikschichten angeordnete Elektrodenschichten aufweist, sich jede der Elektrodenschichten des jeweiligen Teilstapels an mindestens einen von mindestens zwei seitlichen Oberflächenabschnitten des Teilstapels erstreckt, an den seitlichen Oberflächenabschnitten des jeweiligen Teilstapels Außenmetallisierungen derart angeordnet und mit den Elektrodenschichten des Teilstapels verbunden sind, dass übereinander benachbart angeordnete Elektrodenschichten des Teilstapels mittelbar über die Außenmetallisierungen mit unterschiedlichen elektrischen Potentialen beaufschlagt werden können, die Teilstapel übereinander zu einem monolithischen Gesamtstapel angeordnet sind, und die Teilstapel mit Hilfe mindestens einer zwischen den Teilstapeln angeordneten Verbindungsschicht miteinander verbunden sind. Das Verfahren weist folgende Verfahrensschritte auf : a) Bereitstellen des Gesamtstapels und b) Erzeugen eines Entlastungsrisses der Verbindungsschicht . Daneben wird ein entsprechender monolithischer Piezoaktor angegeben. Zur Überbrückung des Entlastungsrisses ist an den entsprechenden Außenmetallisierungsbereichen ein elektrisches Verbindungsmittel in Form eines Drahts angebracht . Verwendung findet der Piezoaktor bei der Ansteuerung von Einspritzventilen von Kraftfahrzeugmotoren.