| 发明名称 | 防止电子器件加热时氧化的导管 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种防止电子器件加热时氧化的装置，该电子器件例如在半导体封装过程中的半导体基底，其包括：一大体封闭的导管，其具有至少一个规定通道的活动平台，该电子器件可穿越该通道；多个气体输出通道，其引入相对惰性气体进入该导管；传送装置，其用于处理和沿着该提供的导管移动该电子器件；一开口，其沿着部分导管以使得该传送装置和电子器件之间进行处理；驱动装置用于移动该活动平台，该通道的尺寸藉此可调以适合不同的电子器件。 | ||
| 申请公布号 | CN1296982C | 申请公布日期 | 2007.01.24 |
| 申请号 | CN200310118457.4 | 申请日期 | 2003.12.17 |
| 申请人 | 先进科技新加坡有限公司 | 发明人 | 叶玟鋑;胡健炜;段荣;关家胜 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/60(2006.01) |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种防止电子器件加热时氧化的装置，包括：一大体封闭的导管，其具有至少一个规定通道的活动平台，该电子器件可沿该通道移动；多个气体输出通道，其能够引入惰性气体进入该导管；传送装置，其用于处理和沿着该导管移动该电子器件；一开口，其沿着部分导管以使得该传送装置和电子器件之间进行处理；其中，该装置包含有至少一个用于移动该活动平台的驱动器，该通道的尺寸藉此可调以适合不同的电子器件。 | ||
| 地址 | 新加坡2义顺7道 | ||