用于将涂料涂敷到基板上的真空装置组

摘要

本发明所提供的真空装置组及其变体用于将材料真空沉淀到基板上的领域。依据设计方案的第一变体，所述真空装置组与具有类似用途的公知设备的不同之处在于：所述真空室设置有主隔间和至少一个处理隔间；处理装置被安置在真空室的处理隔间中并且被安装成使得其能够平行于基板和/或基板支架的表面往复移入到真空室的主隔间内，且处理装置运送机构被安置在真空室的外面并且通过支撑架与处理装置连接。依据设计方案的第二变体，真空室的主隔间设置有一个开口和真空闸门阀，处理隔间被设计成一个单独的单元并且连接到真空室的主隔间上。

主权项

1、一种用于将涂料涂敷到基板上的真空装置组，其包括：一个真空室；一个预期用于安置基板的基板支架；一个用于将涂料涂敷到基板上的处理装置；及一个处理装置运送机构，其被安装成使得其能够平行于基板和/或基板支架的表面往复移动，其特征在于，所述真空室设置有主隔间和至少一个处理隔间；处理装置被安置在真空室的处理隔间中并且被安装成使得所述处理装置能够平行于基板和/或基板支架的表面往复移入真空室的主隔间内，而且，处理装置运送机构被安置在真空室的外面并且通过支撑架与所述处理装置连接。