压电致动器及其驱动电路

摘要

压电致动器具有振动板，该振动板具有在纵向振动模式和弯曲振动模式下振动的板状压电元件。在振动板的面上配置检测纵向振动模式下振动用的第一电极和检测弯曲振动模式下振动振幅用的第二电极。在由驱动信号驱动压电致动器时，检测从第一电极输出的第一检测信号和从第二电极输出的第二检测信号的相位差。另外，求出检测出的相位差为最大相位差的频率，将与其一致的频率的驱动信号提供给压电元件。

主权项

1.一种压电致动器的驱动电路，以振动板为主要构成要素，该振动板由压电元件构成，通过提供交流信号而在第一振动模式下振动，同时，在振动方向与其不同的第二振动模式下振动，其特征在于，具备：驱动器，向上述振动板施加作为交流信号的驱动电压信号；和频率控制部，从上述振动板中检测表示第一振动模式下振动的电信号和表示第二振动模式下振动的电信号，并进行使这些电信号相位差最佳化的上述驱动电压信号的频率控制。