基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法

摘要

提供一种不使用旋转机构，就可以使基板的被处理面朝向下方吸附在吸附板上的基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法。该涂敷装置(1a)，利用基板处理单元(2)的毛细管现象使储存在基板(10)下方的涂敷液上升，使所上升的所述涂敷液接触朝向下方的基板(10)的被涂敷面，通过使基板处理单元(2)和基板(10)相对移动，在被涂敷面上形成涂敷膜，该涂敷装置具有：可以自由装卸地保持基板(10)的保持单元(5a)；在使基板(10)的被处理面朝向下方的状态下，从保持单元(5a)吸附基板(10)的吸附单元(3)；和使基板处理单元(2)和/或吸附单元(3)在水平面内移动的移动单元(4)。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：可以自由装卸地保持基板的保持单元；在使所述基板的被处理面朝向下方的状态下，从所述保持单元吸附所述基板的吸附单元；设在所述基板的下方，对所述基板的被处理面进行处理的处理单元；和使所述处理单元和/或所述吸附单元在水平面内移动的移动单元；所述保持单元，在装卸基板时转动规定角度，把基板在垂直的方向上立起或者倾倒。