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发明名称 Isolator aus porösem Siliziumoxycarbid für integrierte Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69835900(T2) 申请公布日期 2007.01.18
申请号 DE1998635900T 申请日期 1998.10.14
申请人 MICRON TECHNOLOGY INC. 发明人 AHN, Y.;FORBES, LEONARD
分类号 H01L23/532;H01L21/316;H01L21/762;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78 主分类号 H01L23/532
代理机构 代理人
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