薄膜装置

摘要

【课题】提供可尽量减少寄生电容之薄膜装置。【解决方式】在线圈16是以于下部磁性膜12及上部磁性膜17之间被绝缘设置的情况，在最接近那些下部磁性膜12及上部磁性膜17的端边构成线圈16，使截面16M具有最小宽度。因而，减少在线圈16和下部磁性膜12及上部磁性膜17之间产生之寄生电容，而且在该线圈16之各绕组间产生之寄生电容亦一并减少。