微影装置及器件制造方法

摘要

一湿浸式微影装置具备一液体约束结构，该结构至少局部地界定一被建构为在投影系统与基板间容纳液体的空间。为了减少正在被成像之基板之边缘的交叉(此可导致浸渍液中含有气泡)，该空间在一平行于基板之平面内的截面积被制作成尽可能地小。最小理论大小是由投影系统成像之目标部分的大小。在一实施例中，投影系统之一最终元件的形状亦被改变成在一平行于基板之横截面内拥有与目标部分相似的大小及／或形状。