电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

本发明的电浆处理装置将传播微波的真空导波管减压为高真空，防止在真空导波管内和插槽板的异常放电，而且藉由减少处理室与真空导波管内的压力差，减少添加在使插槽板以及表面电浆发生的诱电体之应力，以便实施高品质的电浆处理。