曝光装置

摘要

一种曝光装置，可准确把握由光之照射热而引起之光学系统之特性变动。本曝光装置是以自光源(1a)射出之光对被曝光物(7)进行曝光之曝光装置，其特征在于包括检测上述光之非曝光波长成分之光量之检测机构(12、13、9)。因此，即使曝光波长成分之光量与非曝光波长成分之光量单独变动，亦可准确把握由光学系统之照射热引起之特性变动。其结果，亦可实现高性能之镜片调整系统。