发明名称 Integrierte Schaltung mit dielektrischer Zwischenschicht
摘要
申请公布号 DE69535056(T2) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE19956035056T 申请日期 1995.12.14
申请人 AT & T CORP. 发明人 LEE, KUO-HUA;YU, CHEN-HUA D.
分类号 H01L21/322;H01L21/8244;H01L21/316;H01L21/66;H01L23/532;H01L27/10;H01L27/11 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址