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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße, wobei ein zeitlich begrenztes Anregungssignal (U(t)), das durch zumindest eine Soll-Größe bzw. durch eine SOLL-Signalform beschrieben wird, einem ersten piezoelektrischen Element (1) oder einer ersten polarisierten Zone (2) eines piezoelektrischen Elements (1) zugeführt wird, wobei das Antwortsignal (U¶a¶(t)), das durch zumindest eine zur SOLL-Größe bzw. zur SOLL-Signalform korrespondierende IST-Größe bzw. IST-Signalform beschrieben wird, von einem zweiten piezoelektrischen Element (3) oder von einer zweiten polarisierten Zone (4) des piezoelektrischen Elements (1) aufgenommen wird, wobei die IST-Größe bzw. die IST-Signalform des Antwortsignals (U¶a¶(t)) und die SOLL-Größe bzw. die SOLL-Signalform des Antwortsignals (U¶a¶(t)) miteinander verglichen werden, wobei im Falle einer Abweichung der IST-Größe bzw. der IST-Signalform des Antwortsignals (U¶a¶(t)) von der SOLL-Größe bzw. der SOLL-Signalform des Antwortsignals (U¶a¶(t)) das Anregungssignal (U(t)) so modifiziert wird, dass die IST-Größe bzw. die IST-Signalform von dem ersten piezoelektrischen Element (1) bzw. von der ersten Zone (2) des piezoelektrischen Elements (1) ausgesandten Ultraschall-Messsignal zumindest annäherungsweise gleich ist der SOLL-Größe bzw. der SOLL-Signalform des Antwortsignals (U¶a¶(t)), und wobei anhand des Ultraschall-Messsignals, das durch die definierte SOLL-Größe bzw. die definierte SOLL-Signalform ...
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