画素电极之开关元件及其制造方法

摘要

本发明提供画素电极之开关元件及其制造方法，适用于显示器，首先形成一闸极于一基板上方。之后，形成一闸极绝缘层于该闸极上方。其中，更包括形成一缓冲层于该闸极与该基板之间以及／或位于该闸极与该闸极绝缘层之间。其中，该缓冲层包括矽化钽、氮矽化钽、矽化钛、氮矽化钛、矽化钨、氮矽化钨、或氮碳化钨。然后，形成一半导体层于该闸极绝缘层上方，并且形成一源／汲极于部分该半导体层上方。其中，该闸极被该缓冲层覆盖。