发明名称 具有数字测量头的测量装置
摘要 一种数字测量头,该使接触件(14)与工件(W)相接触来进行测定的测定装置的测量头结构,由以支点为中心旋转地被支撑的臂(12)、前端具有接触件(14)并被安装在臂的前端部的指杆(13)、和被设在臂(12)的后端部的标尺(15)或读取头(16)构成,并由标尺(15)与读取头(16)检测与工件(W)相接触的接触件(14)的变位。这种数字测量头,可进行宽范围的测定,启动特性和温度特性优越,并且用于指示尺寸的校正的校正规、仅在最初调整时使用。
申请公布号 CN1292223C 申请公布日期 2006.12.27
申请号 CN03127463.3 申请日期 2003.08.07
申请人 株式会社东京精密 发明人 小栗正明
分类号 G01B5/20(2006.01);G01D5/12(2006.01) 主分类号 G01B5/20(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1.一种具有数字测量头(10)的测量装置,通过使接触件(14)与工件(W)相接触来测定该工件(W),该数字测量头(10)具有:基座(21),支点部件(11),至少一个接触件(14),围绕设置在基座(21)上的支点部件(11)旋转地被支撑的至少一个臂(12);前端具有至少一个接触件(14)并被安装在至少一个臂(12)前端部的至少一个指杆(13);和标尺(15)与读取头(16),其中一个被设在一个臂(12)的后端部,另一个被设置在基座(21)上;其中由标尺(15)与读取头(16)检测与工件(W)相接触的接触件(14)的变位,由此标尺(15)具有带有图案间距的圆弧,其特征在于,因标尺(15)的圆弧图案的半径方向的标尺(15)上的位置不同,图案间距(a,b,c)则各不相同。
地址 日本国东京都