发明名称 SERVICE ACTIVITY MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 EP1735738(A2) 申请公布日期 2006.12.27
申请号 EP20050712785 申请日期 2005.02.07
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KAUFFMAN, ERIC;BROWN, PAUL
分类号 G06Q10/00 主分类号 G06Q10/00
代理机构 代理人
主权项
地址