发明名称 CRYSTAL-AXIS-ALIGNED VERTICAL SIDE WALL DEVICE AND PROCESS FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100659810(B1) 申请公布日期 2006.12.19
申请号 KR20000041237 申请日期 2000.07.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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