光阻清洗剂

摘要

本发明系为一种包含乙酸丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)或乙酸丙二醇单甲基醚酯衍生化合物与环己酮(ANONE)或环己酮(ANONE)衍生化合物成分之光阻清洗剂；此光阻清洗剂具有下列特点：对人体具极低毒性，使用上具安全性，且无令人不愉快气味；不会对环境造成污染，且其废液及废水容易处理；对光阻材料层具有良好的溶解度，适宜的挥发性，及优越的清洗能力及良好于不同光阻之间相容性；能于室温储存，成本低廉，且不需更换用设备与生产条件对人体具极低毒性，且其废液及废水容易处理。