发明名称 含有缩合之多环烃基的矽共聚物
摘要 本发明提供一种即使在200奈米以上之远紫外线域也具有高吸收,且因含有苯酚性羟基而可溶于硷之新颖的聚矽氧共聚合物。因此,本发明系提供一种包含含有苯酚单元之倍半矽氧烷及含有缩合多环烃基之倍半矽氧烷的聚矽氧共聚合物。
申请公布号 TW200643635 申请公布日期 2006.12.16
申请号 TW095111653 申请日期 2006.03.31
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 西川健
分类号 G03F7/075(2006.01);G03F7/039(2006.01);C08G77/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/075(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 日本