| 发明名称 |
抗反射硬罩幕组合物及使用该组合物的方法(一) ANTIREFLECTIVE HARDMASK COMPOSITION AND METHODS FOR USING SAME ( 1) |
| 摘要 |
用于平版印刷制程之抗反射硬罩幕组合物，以及使用该组合物的方法，亦揭露以此方法制造半导体元件。本发明之抗反射硬罩幕组合物包括：a)聚合物成分，包括第一单体单元与第二单体单元，其中第一单体单元与第二单体单元两者皆含有芳香基团，并且其中至少第一单体单元与第二单体单元之一具有酚基；b)交联成份；以及c)酸催化剂。095109576-p01.bmp |
| 申请公布号 |
TW200643623 |
申请公布日期 |
2006.12.16 |
| 申请号 |
TW095109576 |
申请日期 |
2006.03.21 |
| 申请人 |
第一毛织股份有限公司 |
发明人 |
鱼东善;吴昌一;金到贤;李镇国;南 艾丽娜 |
| 分类号 |
G03F7/038(2006.01);G03F1/14(2006.01);C08L33/04(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/038(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
韩国 |
