气浮单元,搬运方法及气浮搬运装置

摘要

一种气浮搬运装置，是从配置于平面基板的下方的气浮单元喷出空气使平面基板浮起，并且藉由送出机构朝前方移送；在位置于前述平面基板的搬运方向的先端的气浮单元的下流端附近，设有让前述平面基板的浮起量变大的机构。