PIEZAS UNIDAS POR ELASTOMERO PARA PROCESOS POR PLASMA Y PROCEDIMIENTO DE FABRICACION Y USO DE LAS MISMAS.

摘要

Un conjunto de junta elastomérica de una cámara de reacción de plasma usada en el proceso de un sustrato semiconductor, que comprende: una primera pieza (42) que tiene una superficie de unión, una segunda pieza (44) que tiene una superficie de unión en contacto con la superficie de unión de la primera pieza (42); y una junta (46) elastomérica entre la primera pieza (42) y la segunda pieza (44), fijando de forma resiliente la junta (46) elastomérica la primera pieza (42) con la segunda pieza (44) para permitir el movimiento entre la primera pieza (42) y la segunda pieza (44) durante el ciclo de temperaturas de las mismas; en el que dicha junta elastomérica está localizada en un rebajo (48) en la primera pieza (42) definido por una pared (50) que protege la junta elastomérica (46) del ataque por el medio de plasma en una cámara de reactor de plasma.