发明名称 Anordning og fremgangsmate for infrarod inspeksjon, samt fremgangsmate for fremstilling av halvleder-skive
摘要 <p>Infrarød inspeksjonsanordning som innbefatter en infrarød lyskilde som er virksom til å bestråle inspeksjonsobjektet med den infrarøde stråle, en infrarød linse som er virksom til å oppsamle de infrarøde stråler som passerte gjennom inspeksjonsobjektet, et infrarødt kamera som er virksomt til å motta de infrarøde stråler oppsamlet av den infrarøde linsen og omdanne dette til et elektrisk signal som skal utmates, en monitor som er virksom til å motta det elektriske signalet fra det infrarøde kameraet og omdanne det til et bildesignal og fremvise et bilde basert på bildesignalet, og en innretning for å hindre infrarød strålelekkasje tilveiebrakt på minst en av en lysbane mellom den infrarøde lyskilden og en omkrets av inspeksjonsobjektet og en lysbane mellom omkretsen av inspeksjonsobjektet og den infrarøde linsen for å hindre de infrarøde strålene fra den infrarøde lyskilden i å nå den infrarøde linsen uten å passere gjennom inspeksjonsobjektet.</p>
申请公布号 NO20062660(A) 申请公布日期 2006.12.15
申请号 NO20060002660 申请日期 2006.06.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRICAL CORP 发明人 MATSUMOTO NORIHISA;MATSUNO SHIGERU
分类号 G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
地址