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发明名称 FABRICATION APPARATUS OF 3D MICRO-STRUCTURE USING LIGA PROCESS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100657422(B1) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 KR20040028695 申请日期 2004.04.26
申请人 发明人
分类号 B81C99/00 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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