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发明名称 PROBING METHOD AND PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100657105(B1) 申请公布日期 2006.12.12
申请号 KR20000057794 申请日期 2000.10.02
申请人 发明人
分类号 G01L5/00;G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01L5/00
代理机构 代理人
主权项
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